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Halbleiterindustrie verwendet schwarzes Siliziumkarbidpulver

Halbleiterindustrie verwendet schwarzes Siliziumkarbidpulver

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Halbleiterindustrie verwendet schwarzes Siliziumkarbid-Pulver
      Siliziumkarbid kommt in etwa 250 kristallinen Formen vor. Der Polymorphismus von SiC zeichnet sich durch eine große Familie ähnlicher kristalliner Strukturen aus, die als Polytypen bezeichnet werden. Sie sind Variationen derselben chemischen Verbindung, die in zwei Dimensionen identisch sind und sich in der dritten unterscheiden. Somit können sie als Schichten betrachtet werden, die in einer bestimmten Reihenfolge gestapelt sind.

      Alpha-Siliciumcarbid (α-SiC) ist das am häufigsten anzutreffende Polymorph; es entsteht bei Temperaturen über 1700 °C und hat eine hexagonale Kristallstruktur (ähnlich Wurtzit). Die Beta-Modifikation (β-SiC) mit einer Zinkblende-Kristallstruktur (ähnlich Diamant) wird bei Temperaturen unter 1700 °C gebildet. Bis vor kurzem hatte die Beta-Form relativ wenige kommerzielle Anwendungen, obwohl ihr Interesse an ihrer Verwendung als Träger für heterogene Katalysatoren aufgrund ihrer höheren Oberfläche im Vergleich zur Alpha-Form zunehmend zunimmt.

Spezifikation von Siliziumkarbid

Partikelgröße Partikelverteilung (µm)
Maximale Partikelgröße Partikelgröße bei d 03 Partikelgröße bei d 50 Partikelgröße bei d 94
# 240 127 103 58,6 ± 3,0 40,0
# 280 112 87,0 49,4 ± 3,0 33,0
# 320 98,0 74,0 41,1 ± 2,5 27.0
# 360 86.0 66.0 36,1 ± 2,0 23,0
# 400 75,0 58,0 30,9 ± 2,0 20,0
# 500 63,0 50,0 26,4 ± 2,0 16.0
# 600 53,0 43,0 21,1 ± 1,5 13,0
# 700 45,0 37,0 17,9 ± 1,3 11,0
# 800 38.0 31,0 14,7 ± 1,0 9.00
# 1000 32,0 27.0 11,9 ± 1,0 7.00
# 1200 27.0 23,0 9,90 ± 0,80 5.50
# 1500 23,0 20,0 8,40 ± 0,60 4.50
# 2000 19.0 17.0 6,90 ± 0,60 4.00
# 2500 16.0 14,0 5,60 ± 0,50 3.00
# 3000 13,0 11,0 4,00 ± 0,50 2,00
# 4000 11,0 8.00 3,00 ± 0,40 1,30

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